| SF6露點(diǎn) | 測(cè)量范圍 | -80℃～+20℃（支持PPMV等） |
| 精度 | ±0.5℃（當(dāng)露點(diǎn)溫度低于0℃，傳感器輸出為霜點(diǎn)） | |
| 重復(fù)性 | ±0.2℃ | |
| 氣體流量 | SF6調(diào)節(jié)在0.5～0.9L/min | |
| 響應(yīng)時(shí)間 |
63%[90%] +20→-20℃ Td 5s[45s] -20→-60℃ Td 10s[240s] |
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| SF6純度 | 測(cè)量范圍 | 0～100% ； 精度：±0.5% |
| SF6分解物 | 測(cè)量范圍 |
H2S：1～200ppm（標(biāo)配） SO2：1～100ppm（標(biāo)配） HF： 0～10ppm（可選） CO：0-1000ppm（可選） 精度：±1ppm |
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